中化新網(wǎng)訊 11月21日，2025濕電子化學(xué)品及電子氣體高端發(fā)展會議平行會議——電子氣體技術(shù)及相關(guān)配套產(chǎn)業(yè)進(jìn)展與市場趨勢，在自貢市富順縣舉行。與會專家指出，我國電子特氣產(chǎn)業(yè)在市場規(guī)模與部分產(chǎn)品技術(shù)上取得顯著進(jìn)步，但高端產(chǎn)品自主性仍不足、同質(zhì)化競爭與“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)等問題依然突出，行業(yè)需通過技術(shù)升級與資源整合尋求突破。

　　會議指出，我國電子特氣市場規(guī)模穩(wěn)步增長。據(jù)統(tǒng)計(jì)，2017—2024年間國內(nèi)新增電子特氣供應(yīng)商20余家，增長率超過150%。2024年，國內(nèi)電子氣體企業(yè)銷售收入達(dá)到196億元，比上年增長12.6%。其中，用于半導(dǎo)體制造的氣體銷售收入為90.9億元，比上年增長12.6%。

　　國內(nèi)電子氣體企業(yè)規(guī)模迅速增長一方面源于市場放量。AI時代新電子產(chǎn)品不斷涌現(xiàn)，推動晶圓產(chǎn)能擴(kuò)張并帶動電子特氣需求。同時，集成電路工藝技術(shù)進(jìn)步對新材料種類需求日益增加，特別是在電子特氣、光刻膠等領(lǐng)域。另一方面是國內(nèi)企業(yè)在合成、純化、分析、混配及充裝等多個環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破。據(jù)天津大學(xué)化工學(xué)院助理研究員鄭凱天介紹，當(dāng)前國內(nèi)企業(yè)部分電子氣體的純度、配氣誤差、氣瓶光潔度以及關(guān)鍵雜質(zhì)精度等技術(shù)指標(biāo)已達(dá)國際先進(jìn)水平。

　　但規(guī)模的迅速擴(kuò)張也帶來了同質(zhì)化競爭。目前國內(nèi)企業(yè)能夠批量生產(chǎn)的特種氣體集中在集成電路的清洗、蝕刻、光刻等工藝環(huán)節(jié)，對摻雜、沉積等工藝涉及的多種特種氣體仍需進(jìn)一步技術(shù)攻關(guān)。

　　在高端產(chǎn)品稀缺的同時，電子特氣中、低端市場卻很擁擠。以NF3產(chǎn)品為例，不完全統(tǒng)計(jì)顯示，全球需求量約為4萬噸/年，國內(nèi)已有產(chǎn)能及計(jì)劃新上產(chǎn)能總和預(yù)計(jì)超過6萬噸/年。硅烷氣龍頭企業(yè)的2025年半年報(bào)顯示，受國內(nèi)產(chǎn)能擴(kuò)張、下游需求增速減緩影響，硅烷氣產(chǎn)品價格同比出現(xiàn)較大降幅。

　　如何破局，加速超高純度技術(shù)攻關(guān)、實(shí)現(xiàn)供應(yīng)鏈補(bǔ)強(qiáng)和多元化?

　　對此，浙江中寧硅業(yè)股份有限公司副總經(jīng)理王礦賓表示，可針對下游新趨勢進(jìn)行定制化開發(fā)。他說，近年來光伏、顯示面板和先進(jìn)封裝領(lǐng)域定制化硅源氣體需求激增。分子設(shè)計(jì)可提升薄膜均勻性和附著力，顯著增強(qiáng)器件性能。

　　上海交大化學(xué)化工學(xué)院副研究員李學(xué)剛表示，可通過需求導(dǎo)向的產(chǎn)學(xué)研用緊密合作來提速產(chǎn)業(yè)化技術(shù)補(bǔ)短。他們與四川永祥能源科技有限公司合作開發(fā)的全球首套二氯二氫硅(DCS)制甲硅烷工業(yè)示范裝置已于2024年4月建成投產(chǎn)，過程能耗和生產(chǎn)成本進(jìn)一步降低，產(chǎn)品純度達(dá)到7N級，就是很好的例證。

　　會上，天津綠菱氣體股份有限公司高級研發(fā)工程師高志剛、南京工業(yè)大學(xué)柔性電子(未來技術(shù))學(xué)院副教授郭慶勛、波米科技有限公司總經(jīng)理杜孟成，分別圍繞集成電路刻蝕氣體的制備技術(shù)與工程解決方案、鈣鈦礦發(fā)光材料的性能優(yōu)勢與熱蒸發(fā)制備工藝、聚酰亞胺封裝材料的國產(chǎn)替代歷程與創(chuàng)新管理實(shí)踐作了專題報(bào)告。