中化新網(wǎng)訊 12月18日，在中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會（下稱氣體協(xié)會）第三十五次會員大會暨“邯鄲·中國氣谷三年行動計劃”發(fā)布會的氣體分析論壇環(huán)節(jié)，多位專家認為，當前我國氣體分析行業(yè)發(fā)展迅速，對氣體分析設(shè)備的精度和分析標準化提出更高要求，行業(yè)期待盡快實現(xiàn)設(shè)備自主化。

高純氣體是電子制造中的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，隨著我國半導(dǎo)體市場的逐步擴張，高純氣體的需求連年大幅增長，對產(chǎn)品品種和純度的要求也“水漲船高”。近年來，國內(nèi)氣體企業(yè)中船特氣、華特氣體、南大光電等通過技術(shù)突破，在磷烷、砷烷、六氟化鎢等細分領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)國產(chǎn)替代，2025年相關(guān)產(chǎn)品的國產(chǎn)化率有望提升至25%。

但與會專家也指出，相較于高純氣體產(chǎn)品的生產(chǎn)，高純氣體分析領(lǐng)域的設(shè)備國產(chǎn)化仍有待推進。

中船（邯鄲）派瑞特種氣體公司質(zhì)量部部長鄭秋艷預(yù)測，未來的氣體分析檢測精度將從ppb級向ppt級甚至亞ppt級突破，逐漸普及的便攜式、在線式檢測設(shè)備也將實現(xiàn)對氣體的實時與連續(xù)檢測，這對氣體分析設(shè)備的性能提出了更高要求。

目前，為滿足市場對精密制造、半導(dǎo)體、航天航空等領(lǐng)域高純氣體雜質(zhì)濃度準確定量的需求，多家科研院所正在探索用于檢測ppm～ppb級痕量雜質(zhì)氣體濃度的高純氣體分析儀國產(chǎn)化。據(jù)北京航天計量測試技術(shù)研究所副主任卜芳介紹，其團隊正聚焦于相關(guān)設(shè)備的國產(chǎn)化替代項目，目前被美國壟斷的儀器整機核心部件——脈沖放電離子化檢測器已完成小批量研制，產(chǎn)品裝配和合格率達到95%以上，部分設(shè)備也已在軍工、航天等領(lǐng)域完成應(yīng)用測試。

此外，與氣體分析設(shè)備相配套的國家標準也正在快速更新和完善。中國測試技術(shù)研究院化學(xué)研究所主任周鑫表示，為適應(yīng)氣體分析領(lǐng)域快速發(fā)展的需求，研究所在標準物質(zhì)領(lǐng)域制定修改了多項國內(nèi)標準，包括質(zhì)子交換膜、氫氣燃料質(zhì)量分析方法標準化等。